法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/68 授权公告日:20081112 终止日期:20170223 申请日:20050223
专利权的终止
2008-11-12
授权
授权
2008-11-12
授权
授权
2006-06-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-06-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-04-26
公开
公开
2006-04-26
公开
公开
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机译: 非接触保持器装置和非接触保持和输送装置
机译: 非接触保持器装置和非接触保持和输送装置
机译: 主要部位的磁轴承非接触保持,非接触保持方法及主要部位的位置偏移检测装置