电子材料用清洗剂组合物、清洗剂原液和电子材料的清洗方法

摘要

本发明的电子材料用清洗剂组合物是含有与水共沸的叔胺(A)和水(B)的清洗剂组合物，所述叔胺(A)的沸点在1个大气压下为130～250℃，叔胺(A)在所述清洗剂组合物的所述叔胺(A)和所述水(B)的总计中的重量比(％)、小于等于叔胺(A)在由叔胺(A)和水(B)构成的共沸混合物中的重量比。该清洗剂组合物即使用非常少的量(低浓度)也能够去除附着于电子材料上的颗粒，并且可以提供一种即使没有用于洗掉清洗剂成分的漂洗工序也不会使清洗剂的残渣残留的电子材料用清洗剂组合物、清洗剂原液和包含电子材料的清洗工序的清洗方法。