器件结构及其制造方法、滤波器、电子设备

摘要

本发明涉及一种器件结构及其制造方法，该器件结构包括：第一和第二基底；封装层，设置在对置的第一与第二基底之间，以限定在第一与第二基底之间的封装空间；MEMS器件，设置于第一基底和/或第二基底，且位于封装空间之内，其中：封装层包括内、外密封层，内密封层的外侧设置有在第一和第二基底之间的环形槽，环形槽对外侧开口，外密封层为金属层，其覆盖内密封层的整个外侧；且外密封层仅包括位于环形槽内的槽内部分，或者外密封层包括位于环形槽内的槽内部分以及仅仅覆盖第一基底和/或第二基底的侧面的一部分的侧面部分，第一基底或第二基底设置有与槽内部分电连接的导电部。本发明还涉及一种滤波器和一种电子设备。