多束扫描电子显微镜系统中噪声减少的方法及系统

摘要

本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。所述系统包含多束扫描电子显微镜SEM子系统。所述SEM子系统包含：多束电子束源，其经配置以产生多个电子束；样本载台，其经配置以固定样本；电子光学组合件；及检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面发出的多个电子信号束以形成多个图像，每一图像与所述多个电子束中的电子束相关联。所述系统包含控制器，其经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；比较所述图像中的两个或更多个图像以识别在所述两个或更多个图像中存在的共同噪声分量；及从所述多个图像中的一或多个图像移除所述经识别的共同噪声分量。