公开/公告号CN110568421B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 上海禾赛科技股份有限公司;
申请/专利号CN201910819915.8
申请日2019-08-31
分类号G01S7/481(20060101);G01S7/497(20060101);
代理机构51219 泰和泰律师事务所;
代理人祝海燕
地址 201821 上海市嘉定区新徕路468号园区二号楼
入库时间 2022-08-23 11:38:56
机译: 振镜,振镜,使用振镜的画图方法,使用振镜的面膜的制造方法以及修正振镜的方法
机译: 振镜扫描仪,振镜扫描仪和激光加工设备的控制方法
机译: 扫描电子显微镜系统,使用该扫描电子显微镜所布置的图案测量方法以及扫描电子显微镜