一种缩短微电铸加工时间的方法

摘要

本发明提供了一种缩短微电铸加工时间的方法，属于微电铸工艺技术领域。本发明提供的缩短微电铸加工时间的方法，包括在衬底上依次制备第一光刻板、第一电镀镍、第一次平坦化、第二光刻板、第二电镀镍、去胶处理、电镀铜、第二次平坦化、去铜处理，得到目标装置。本发明在制备两层结构时，能够减少一次电镀工艺，缩短电镀时间；第一次平坦化工艺用时短，第二次平坦化工艺用时能够减少一半，使总的平坦化工艺用时大幅度缩短；同时加工时间变短，减少了产品受损的概率，提高了产品的良品率。实施例的结果显示，采用本发明的方法，产品的生产周期从675h缩短到357h，加工时间缩短了47.1％，良品率从低于5％提升到高于90％。