产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备

摘要

一种通过电气操纵放电而产生极紫外辐射(EUV)或软X射线辐射的方法，其尤其用于EUV光刻或度量，其中在放电空间(12)内的至少两个电极(14、16)之间的气体介质内点燃等离子体(22)，所述等离子体发射待产生的所述辐射。从金属熔融物质(24)产生该气体介质，该金属熔融物质被涂敷到所述放电空间(12)内的表面，且该金属熔融物质至少部分地被能量束、特别是激光束(20)蒸发。