一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法

摘要

本发明公开了一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法，包括以下步骤：1)涂覆：在基材表面涂覆光刻胶并烘干，再涂覆催化剂涂料并进行热风固化，形成光刻胶层和催化剂涂覆层；2)曝光：利用光罩对基材进行曝光，光刻胶层上的曝光区域形成交联图案；3)蚀刻：通过蚀刻液，对光刻胶层上未曝光区域进行蚀刻，形成高分辨率图案；4)镀敷。本发明通过在基材上涂覆光刻胶层和催化剂涂覆层，光罩对部分光刻胶进行固化，并刻蚀处理未曝光的部分，形成图案，在图案表面镀敷导电材料，实现图案的高分辨率和导电性，无需利用丝网模具、模型辊轮等进行转印，所需设备简单，成品率高，适合广泛推广与使用。