公开/公告号CN110058142B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所;
申请/专利号CN201811533521.8
申请日2018-12-14
分类号G01R31/28(20060101);G01R31/302(20060101);G01R31/54(20200101);G01R31/58(20200101);
代理机构11009 中国航天科技专利中心;
代理人马全亮
地址 100076 北京市丰台区东高地四营门北路2号
入库时间 2022-08-23 11:37:59
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