压力控制器及其压力传感器、压力传感器的制作方法

摘要

本发明公开了一种压力传感器，包括基座部件，其特征在于，还包括内波纹管和外波纹管，所述内波纹管和所述外波纹管焊接在所述基座部件上，所述内波纹管与所述基座部件形成感压腔，所述内波纹管与所述外波纹管形成保护腔，所述基座部件上设置有与所述感压腔连通的流体进入通道和与所述保护腔连通的压力检测通道，所述压力检测通道由封堵件封堵,采用内波纹管与外波纹管配合，能够提供过压保护，压力检测通道的设置，能够对外波纹管进行气密性检测，有效防止压力传感器内的流体发生泄漏，焊接波纹管时，压力检测通道能够保持保护腔与外界的压力平衡，避免保护腔产生负压影响波纹管刚度，本发明还公开了一种制作压力传感器的方法及一种压力控制器。