一种洁净室受害区检测方法

摘要

本发明公开了一种洁净室受害区检测方法，包括如下步骤：（1）提供一洁净室，洁净室包括自上而下依次设置的送风空间、天花板、洁净空间、高架地板以及回风空间，天花板划分为复数个送风区，高架地板划分为复数个排风区，送风区与排风区一一对应的上下布置且对应的二者之间形成柱形空间，洁净室还包括与柱形空间一一对应的检测机构，检测机构包括腐蚀试片和检测单元；（2）监测每个检测机构的腐蚀试片的电性能参数，如某个检测机构的腐蚀试片的电性能参数是否按照一个趋势持续发生变化，则判断该检测机构所对应的柱形空间为受害区。本发明公开的洁净室受害区检测方法能够实现腐蚀性气体检测的全面性和准确性且节省成本。