掩膜版的制作方法、掩膜版和显示面板的制作方法

摘要

本发明公开了一种掩膜版的制作方法、掩膜版和显示面板的制作方法。该掩膜版的制作方法包括：提供第一基板，第一基板包括相对的第一表面和第二表面；刻蚀第一表面，形成多个第一凹槽；刻蚀第二表面，形成多个第二凹槽；其中，第二凹槽和第一凹槽一一对应，且第二凹槽的开口面积大于第一凹槽的开口面积；在第二表面，相邻第二凹槽之间的间距大于预设距离，其中，预设距离大于零；在第二凹槽的侧面靠近第二表面的边缘区域涂布保护层；刻蚀第二凹槽，形成第三凹槽；第三凹槽的深度大于第二凹槽的深度，且第三凹槽和第一凹槽贯穿第一基板；去除保护层。本发明实施例提高了掩膜版的强度及掩膜版的使用寿命。