ZnO－TiO₂系低温共烧陶瓷材料及其制备方法

摘要

本发明是一种微波介质陶瓷材料及其制备方法，尤其涉及一种ZnO-TiO₂系低温共烧陶瓷材料及其制备方法。ZnO-TiO₂系低温共烧陶瓷材料，其原料钛酸锌、二氧化钛为主晶相，锌硼硅玻璃作为助熔剂。本发明产品能在900℃以下和银电极共烧；材料的频率温度系数τ_f可达到0±10ppm/℃；材料介电常数ε_r＝24～35.3；材料的Q*f可达到13000GHz。本发明的材料解决了LTCC工艺中流延工序的工艺问题和生产小体积多层陶瓷介质微波Filter的材料问题。可采用LTCC生产工艺，可生产高性能、小体积、一致性好的多层陶瓷介质微波Filter和多层Balun、Antenna、Couping等产品。本发明另外还公开了一种ZnO-TiO₂系低温共烧陶瓷材料的制备方法。