一种采用单光声池测量多组分气体的激光光声光谱检测装置

摘要

一种采用单光声池测量多组分气体的光声光谱检测装置，该装置包括截止阀(1)、颗粒物过滤装置(2)、气体干燥装置(3)、电磁开关阀一(4)、压力传感器(5)、电磁开关阀二(6)、音速喷嘴(7)、真空泵(8)、量子级联激光器阵列模块(9)、分光镜模块(10)、待测参比气室(11)、差分共振光声池(12)、声电转换模块(13)、恒温箱(14)、光功率检测器(15)、消光池(16)、锁相放大电路(17)和工控机(18)；所述量子级联激光器阵列模块(9)将多束激光耦合到一束光路中。该装置实现了单光声池同时测量多种故障气体组份。具有抗干扰能力强，设备长期稳定性好，精度高，后期免维护的优点，可实现测量痕量气体至100％浓度气体。