以范围为基础的实时扫描电子显微镜的非视觉分格器

摘要

本发明揭示了一种用于识别例如SEM非视觉缺陷SNV等的非视觉缺陷的技术，所述技术包含：产生晶片的层的图像；使用分类器来评估所述图像的至少一个属性；及识别所述晶片的所述层上的所述非视觉缺陷。控制器可经配置以使用所述分类器来识别所述非视觉缺陷。此控制器可与例如扫描电子显微镜SEM的缺陷重检工具通信。