用于检测导电和/或可极化粒子的传感器、传感器系统、用于操作传感器的方法、此类型传感器的制造方法以及此类型传感器用途

摘要

本发明涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器(10)，尤其是用于检测烟尘粒子(30)，传感器包括衬底(11)和至少两个电极层(12、13)，设有第一电极层(12)和布置在衬底(11)和第一电极层(12)之间的至少一个第二电极层(13)。至少一个绝缘层(14)形成于第一电极层(12)和至少一个第二电极层(13)之间的，至少一个开口(15，16)形成在第一电极层(12)中和至少一个绝缘层(14)中，第一电极层中开口(15)的至少一些部分和绝缘层(14)中开口(16)的至少一些部分彼此层叠布置，以便形成通向第二电极层(13)的至少一个通道(17、17'、17")。