用于去除布置在腔室中表面上的金属沉积物的方法

摘要

本发明涉及一种用于去除布置在腔室(1)中表面(5)上的金属沉积物(2)的方法，所述方法包括反复进行包括以下阶段的序列：a)注入适合于氧化所述金属沉积物(2)的化学物质的第一阶段；和b)注入适合于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质的第二阶段，所述第二阶段b)在所述第一阶段a)之后进行。