一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法

摘要

本发明公开了一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法，通过测试结构的微波参数S21及机械谐振频率，实现电镀金属的材料参数应力、电导率、弹性系数的在线测试，检测结构采用表面牺牲层工艺制作，包括了共面波导传输线输入输出端，电感结构、介质层，金属膜空气桥、金属膜悬臂梁，衬底结构；其中，电感结构和悬臂梁结构采用电镀的方法实现，是具有一定厚度的金属结构。本发明的检测结构和检测方法，可以有效地在线检测电镀金属膜的参数，提升生产效率及成品率。