一种系统性极微物理缺陷的检测方法

摘要

本发明公开了一种系统性极微物理缺陷的检测方法，采用扫描电子显微镜对扫描区域中晶圆的多个检测点进行扫描拍摄并检测每个定点拍照图中的缺陷数量，根据颜色分级，生成缺陷色阶图，计算获取缺陷预估值，从而判断晶圆是否符合工艺要求。本发明针对极微物理缺陷做到及时高效地监控，缩短传统电子缺陷扫描机台检测此类缺陷的时间，节约成本。