一种磁悬浮轴承电感式位移传感器

摘要

本发明公开了一种磁悬浮轴承电感式位移传感器，电感式位移传感器包括第一探头对、第二探头对和第三探头对，第一探头对包括沿第一方向设置的第一探头组和第二探头组，第二探头对包括沿第二方向设置的第三探头组和第四探头组，第三探头对包括第五探头组、第六探头组、第七探头组和第八探头组，第一探头组、第五探头组、第三探头组、第六探头组、第二探头组、第七探头组、第四探头组和第八探头组沿磁悬浮轴承的周向依次布置，且沿磁悬浮轴承的周向均布。该电感式位移传感器实现了对磁悬浮轴承的径向位移检测与轴向位移检测一体化设计，节约了传感器的安装空间，消除了各个检测通道间的干扰，进而可有效提高传感器的检测精度。