用于视觉对准的参考对准图案确定方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于确定在视觉对准中使用的参考对准图案的方法，其包括：接收具有第一图案唯一性和第一图案尺寸的第一对准图案；计算使用所述第一对准图案的第一视觉对准时间；将所述第一对准图案调整到具有第二图案唯一性和第二图案尺寸的第二对准图案，其中，所述第二图案唯一性不同于所述第一图案唯一性和/或所述第二图案尺寸不同于所述第一图案尺寸；计算使用所述第二对准图案的第二视觉对准时间；比较所述第一视觉对准时间与所述第二视觉对准时间；并且如果所述第一视觉对准时间小于所述第二视觉对准时间，那么将所述第一对准图案确定为所述参考对准图案；否则，将所述第二对准图案确定为所述参考对准图案。