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一种钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结及其制备方法

摘要

本发明提供了一种钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结及其制备方法,所述钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结的厚度为30~60 nm,其包括钌酸锶薄膜和镧锶锰氧薄膜,所述镧锶锰氧薄膜中各成分的摩尔比La∶Sr∶Mn∶O=1‑x∶x∶1∶3,0≤x≤1;所述钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结是采用脉冲激光沉积法制得的。本发明钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结的制备工艺简单,生产成本低,通过改变镧锶锰氧薄膜中Sr元素的掺杂含量可精确有效调控钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结的横向、纵向交换偏置方向和数值,应用前景广阔。

著录项

  • 公开/公告号CN109628890B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 河北大学;

    申请/专利号CN201910022200.X

  • 申请日2019-01-10

  • 分类号C23C14/28(20060101);C23C14/08(20060101);C23C14/58(20060101);H01L43/08(20060101);

  • 代理机构13112 石家庄国域专利商标事务所有限公司;

  • 代理人黄慧慧

  • 地址 071002 河北省保定市五四东路180号河北大学

  • 入库时间 2022-08-23 11:27:09

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