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由空间光整形的飞秒激光加工氧化石墨烯表面图案的系统

摘要

本发明提出了一种由空间光整形的飞秒激光加工氧化石墨烯表面图案的系统,属于飞秒激光应用领域。本方法利用空间光调制器对飞秒激光高斯光束的相位进行调制,调制后的激光经过透镜聚焦,在透镜的焦点处得到特定的光场强度分布,再经过光学4f系统聚焦在氧化石墨烯表面。通过调整加载在空间光调制器上的相位图,可以实现定点辐照就在氧化石墨烯表面得到一定形状的加工图案,被加工的区域发生还原反应产生类石墨烯结构。本发明具有加工效率高、可重复性高、适应范围广的优点,为制备氧化石墨烯‑石墨烯复合结构提供了一种可行的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN110193662B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;北京理工大学;

    申请/专利号CN201910300082.4

  • 发明设计人 姜澜;郭恒;闫剑锋;

    申请日2019-04-15

  • 分类号B23K26/064(20140101);B23K26/046(20140101);B23K26/36(20140101);B23K26/402(20140101);

  • 代理机构11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人罗文群

  • 地址 100084 北京市海淀区清华园1号

  • 入库时间 2022-08-23 11:23:49

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