公开/公告号CN109009128B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市大耳马科技有限公司;
申请/专利号CN201810904755.2
发明设计人 叶飞;
申请日2018-08-09
分类号A61B5/08(20060101);A61B5/00(20060101);
代理机构44340 深圳瑞天谨诚知识产权代理有限公司;
代理人温青玲
地址 518000 广东省深圳市南山区粤海街道沙河西路2009号尚美科技大厦501
入库时间 2022-08-23 11:23:11
机译: 呼吸方式检测方法,装置,处理装置和系统
机译: 用于基板处理设备的异常检测系统,组管理设备,用于基板处理设备的异常检测方法以及基板处理系统。
机译: 信息处理装置的异常检测方法,容错信息处理系统,信息处理装置中的异常检测方法以及记录介质