公开/公告号CN100405052C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-07-23
原文格式PDF
申请/专利权人 广州杰赛科技股份有限公司;
申请/专利号CN200610034507.4
申请日2006-03-23
分类号G01N27/409(20060101);G01N27/28(20060101);H01L49/00(20060101);
代理机构
代理人
地址 510310 广东省广州市海珠区新港中路381号
入库时间 2022-08-23 09:01:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-07-23
授权
授权
2006-10-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-08-23
公开
公开
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