法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B41C 1/05 授权公告日:20081001 终止日期:20160308 申请日:20040308
专利权的终止
2008-10-01
授权
授权
2005-12-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-09-08
公开
公开
机译: 通过将多个空间光调制器应用于一个曝光光学系统,可投影一个图案的无像素曝光设备的曝光头
机译: 在印版曝光系统中用于调节曝光头的焦点的装置
机译: 在印版曝光系统中用于调节曝光头的焦点的装置