撕箔机构

摘要

一种撕箔机构适于撕除一位于基板上之一箔膜，撕箔机构包含起箔元件、连动构件、控制组件。控制组件驱动连动构件而使起箔元件以一运动路径运动，起箔元件于该运动路径运动时，起箔元件的起箔面系以一初始角度接触基板的一角落、接着朝一进给方向位移一第一进给量、续该起箔面朝上Z及朝该基板方向位移一第二进给量且该第一进给角缩小。