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流体流量控制器和定比率控制流体流量的方法和装置

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流体流量控制系统包括一个接收受控流体的入口和多个流体出口。多个流体出口包括一次流体出口和至少一个二次流体出口。一次流体出口提供一次预设定受控流体流量，至少一个二次流体出口提供受控流体的剩余部分。在此实施方案中，控制系统包括压力传感器，一次、二次乘法器，以及一次、二次流量控制器。一次乘法器将压力传感器测得的压力信号与一次设定点相乘来控制一次流量控制器，该控制器提供受控流体的一次预设定部分。二次乘法器将压力传感器测得的压力信号与一次设定点相乘来控制二次流量控制器，该控制器提供受控流体的剩余部分。

著录项

公开/公告号CN100403198C

专利类型发明授权
公开/公告日2008-07-16

原文格式PDF
申请/专利权人迅捷公司;
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申请/专利号CN02810484.6
发明设计人约翰·M·卢尔;威廉·S·华伦蒂尼;
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申请日2002-05-23
分类号G05D7/06(20060101);C23C16/00(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人过晓东
地址美国得克萨斯州
入库时间 2022-08-23 09:01:02

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-09-01

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05D 7/06 授权公告日:20080716 申请日:20020523

专利权的终止
2010-09-01

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05D 7/06 授权公告日:20080716 申请日:20020523

专利权的终止
2008-07-16

授权

授权
2008-07-16

授权

授权
2007-10-17

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更前: 变更后: 登记生效日:20070914 申请日:20020523

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-10-17

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更前: 变更后: 登记生效日:20070914 申请日:20020523

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-10-17

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移登记生效日:20070914 变更前: 变更后: 申请日:20020523

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-10-17

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移登记生效日:20070914 变更前: 变更后: 申请日:20020523

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-10-17

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更前: 变更后: 登记生效日:20070914 申请日:20020523

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-10-17

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更前: 变更后: 登记生效日:20070914 申请日:20020523

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2004-12-15

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-12-15

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-09-29

公开

公开
2004-09-29

公开

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