高密度热阴极等离子体源

摘要

本发明公开了一种高密度热阴极等离子体源，包括热阴极发射体，热阴极发射体采用至少一个具有高电子发射特性的条状复合固体材料制成，所述条状复合固体材料总长度远大于其截面长度，端部设有正或负极导电柱，热阴极发射体周边设有与其不接触的耐高温反射辐射层，安装部、热阴极发射体及高温反射辐射层之间相互绝缘，所述安装部沿圆周方向上均布贯穿密封设有多根绝缘电极，绝缘电极穿过发射体支撑板、耐高温反射辐射层连接在热阴极发射体的正或负极导电柱上。本发明能更加高效地利用输入的能量，避免了间热式阴极在真空状态下仅靠热辐射加热的大量能量浪费，产生的电子密度在同样条件下高一倍以上。