一种用于测量低能离子束流注量率和均匀性的装置

摘要

本发明属于核辐射检测技术领域，涉及一种用于测量低能离子束流注量率和均匀性的装置。所述的装置包括夹持架、定位轴、固定板、探测器组件，所述的夹持架表面分区放置样品并通过多根所述的定位轴固定所述的固定板，所述的固定板可沿所述的定位轴的轴向移动；用于产生、放大和传递样品注量率、均匀性测量信号的多组所述的探测器组件可固定于所述的固定板上。利用本发明的用于测量低能离子束流注量率和均匀性的装置，能够快速准确的进行低能离子束流的注量率和均匀性的测量。