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材料沉积的改进方法

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摘要

本发明涉及材料沉积的改进方法。用于带电粒子处理的方法和装置包括形成由至少两种材料构成的保护层。这两种材料可以混合在一起或可以作为分开的层沉积。其已经根据样品的材料性质配制和布置。

公开/公告号CN107058944B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-10

原文格式PDF
申请/专利权人 FEI 公司;
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申请/专利号CN201610963956.0
发明设计人 B.R.小劳思;T.G.米勒;C.吕;N.T.弗兰科;
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申请日2016-11-04
分类号C23C14/04(20060101);C23C14/22(20060101);C23C16/04(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/06(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人王琳;罗文锋
地址美国俄勒冈州
入库时间 2022-08-23 11:20:34

1. 材料沉积的改进方法 [P] . 中国专利： CN107058944B . 2020.11.10
2. 材料沉积的改进方法 [P] . 中国专利： CN107058944A . 2017-08-18
3. For monitoring the improved method of the deposition of organic material in paper technology [P] . 韩国专利： KR101904372B1 . 2018-10-05

机译：用于监控造纸技术中有机材料沉积的改进方法
4. Method was improved by monitoring the deposition of organic materials in the papermaking process [P] . 日本专利： JP2013542339A . 2013-11-21

机译：通过监测造纸过程中有机材料的沉积来改进方法
5. Improved Method for Monitoring the deposition of Organic Materials in a Papermaking process [P] . AR068128A1 . 2009-11-04

机译：造纸过程中监测有机材料沉积的改进方法