控制具有电容式和压电电极的MEMS麦克风的机械属性

摘要

麦克风系统包括MEMS麦克风和电子控制器。MEMS麦克风包括可移动膜和背板。可移动膜包括电容式电极和压电电极。电容式电极被配置使得作用在可移动膜上的声压引起电容式电极的移动。压电电极基于控制信号而更改MEMS麦克风的机械属性。背板定位在可移动膜的第一侧上。电子控制器电气地耦合到压电电极并被配置为生成控制信号。