一种单晶硅金刚线切割装置

摘要

本发明涉及单晶硅切割加工装置领域，特别涉及到一种单晶硅金刚线切割装置，包括：一装置外壳，装置外壳具有：一第一卷线装置和一第二卷线装置，第一卷线装置和第二卷线装置安装在装置外壳内；一切割装置，切割装置安装在第一卷线装置和第二卷线装置的中间，在切割装置上方设置有一挤压装置；一冷却装置，冷却装置安装在切割装置的上方，冷却装置分为左右两个对切割装置进行冷却；一冷却液箱，冷却液箱安装在装置外壳的的下方，本发明结构简单，且能够在单晶硅切割时有效防止金刚线因冷却液存在碳化硅微粉有大颗粒物卡在金刚线与硅片之间产生线痕，造成硅片的损耗。