二氧化锡基气敏材料及硫化氢气体传感器芯片的制备方法、硫化氢气体传感器

摘要

本发明提供了二氧化锡基气敏材料的制备方法。包括如下步骤：向锡的盐溶液中加入弱酸，将溶液pH值调节至1‑2，并在第一预设温度下搅拌均匀；以预设速率加入弱碱，直至将溶液的pH值调节至2‑3，继续搅拌直至呈凝胶状态；取出凝胶，将凝胶加热至第二预设温度，再加入弱酸以调节pH值至1.5‑2；加入聚乙二醇后进行干燥并烧结，以获得二氧化锡粉体；向二氧化锡粉体中加入金属盐和可挥发醇类溶剂，并研磨以获取浆料，烧结一预设时间，获得金属掺杂二氧化锡基气敏材料。本发明还提供了一种硫化氢气体传感器芯片的制备方法和硫化氢气体传感器。本发明通过改变气敏材料的制备工艺，解决了SnO₂基材料在常温下对H₂S气体几乎没有响应的技术问题。