一种色散共焦显微镜的特性参量的优化方法

摘要

本发明公开了一种色散共焦显微镜的特性参量的优化方法，其通过利用探测针孔平面上实际像的强度函数和圆形探测器的灵敏度函数两者之间的映射关系，得到探测器上轴向响应共焦信号强度函数；获取复色针孔光源的所有波长的光的焦点到折射面的距离函数，并得到所有波长的色散位移函数；利用探测器上轴向响应共焦信号强度函数和所有波长的色散位移函数之间的映射关系，得到色散共焦显微镜的色散共焦信号函数；利用色散共焦显微镜的色散共焦信号函数表征的特性参量之间的映射关系，对色散共焦显微镜的特性参量进行调整，以实现色散共焦显微镜的性能优化。