法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-01-27
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2008-08-27
授权
授权
2005-09-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-06-01
公开
公开
机译: 细化工具,光刻技术,细化方法,装置的制备方法以及通过使用细化工具控制细微的聚焦角度来对暴露前的细微基质进行细化的方法制备的装置
机译: 寄生不灵敏的可编程双二次脉冲细化技术
机译: 寄生不灵敏的可编程双二次脉冲细化技术