公开/公告号CN109483552B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 合肥欣奕华智能机器有限公司;
申请/专利号CN201811613363.7
发明设计人 赵传国;
申请日2018-12-27
分类号B25J9/16(20060101);
代理机构11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司;
代理人黄志华
地址 230013 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
入库时间 2022-08-23 11:18:15
机译: 基板的搬送装置,基板处理系统,基板的搬送方法及存储介质
机译: 动臂驱动装置,多臂机器人装置,电子设备处理系统以及电子设备制造系统中的基板搬送方法
机译: 基板搬送装置,处理装置,基板的处理系统,搬送方法,收纳装置以及收纳箱