磁光光致发光光调制反射和光调制透射光谱联合测试系统

摘要

本发明公开一种磁光光致发光光调制反射和光调制透射光谱联合测试系统。该系统包括宽波段红外光源和傅立叶变换部件、具有红外光学窗口的低温强磁场系统、用于宽波段光入射和收集的反射/透射光路子模块、泵浦/调制两用的交流输出激光器及其引导光路、计算机控制的多功能光谱测试切换部件、光谱信号探测与解调模块、以及控制系统运行的计算机。本发明能够针对半导体材料的同一特定光斑位置实现磁光光致发光、光调制反射和光调制透射的联合测量，形成材料不同磁场光谱特性的可靠比对。本发明具有全面、无损和高灵敏优点，非常适用于半导体光学性质、电子结构和磁效应特性的光谱学检测。