从测量深度剖析数据直接获取薄膜元素成分分布的方法

摘要

本发明涉及一种从测量深度剖析数据直接获取薄膜元素成分分布的方法，主要包括：(1)利用深度剖析技术对薄膜样品中元素的分布进行测量，并将测量得到的强度‑溅射时间谱转换成浓度‑深度谱；(2)MRI参数的确定：包括原子混合长度、信息深度、样品粗糙度三个参数的确定；(3)采用正则化方法中的Tikhonov‑TV方法，并结合其牛顿阻尼法进行求解，获取原始成分浓度‑深度分布。本发明利用MRI模型和反卷积方法，来获得原始成分分布。针对反卷积过程中，低信噪比和实验数据不足等问题，采用正则化方法中的Tikhonov‑TV方法，并结合其牛顿阻尼法，可以对噪声有着较好的容纳能力，对于数据点较少或不足的情况也具有较优的模拟效果，可以准确地获得原始成分浓度‑深度分布。