一种基于在线检测技术改善激光打孔质量的装置及方法

摘要

本发明提供了一种基于在线检测技术改善激光打孔质量的装置及方法，涉及激光加工领域，装置包括激光器、聚焦透镜、半透镜、第一光敏传感器、储气仓、气压传感器、控制器、电压阀、CCD相机、夹具和第二光敏传感器；激光器产生的激光被半透镜分为两束，第一光敏传感器、第二光敏传感器用于在线检测激光信号，CCD相机用于观察小孔的深度，控制器根据检测信号实时控制电压阀的开关以及气体的输出压力。该方法和装置能够提高熔融物的去除效率，减少因熔融物堆积造成的重铸层和微裂纹，改善激光打孔质量。该装置适用于在长脉冲红外激光器上进行激光打孔。