一种基于金属微纳米结构的光学分束器及其制造方法

摘要

一种基于金属微纳米结构的光学分束器及其制造方法，涉及一种光学分束器，提供一种基于金属微纳米结构的光学分束器及制法。设有衬底，衬底上淀积金属薄膜，薄膜上设有至少2条宽度不同且平行的纳米缝隙，纳米缝隙正上方设金属柱，金属柱与金属薄膜间设支撑件。制造时在衬底上制备金属薄膜；用聚焦离子束刻蚀加工法，或在薄膜上涂电子束曝光胶后曝光，显影去掉被曝光的胶，以曝光胶为掩膜版制成纳米缝隙；在纳米缝隙上方制备金属柱：将金属柱制作为悬梁，两端设支撑件，或设在薄膜上方淀积作为支撑物的材料，在此材料上用电子束光刻与反应离子刻蚀或化学腐蚀的方法形成槽，在槽中淀积金属柱所用的材料，将支撑件材料腐蚀掉；制备支撑件。