一种化学气相沉积负压状态下粉末前驱体的进料装置

摘要

本发明一种化学气相沉积负压状态下粉末前驱体的进料装置，属于化学气相沉积技术领域；包括步进电机、传动组件、储料罐、球阀、金属真空管和化学气相沉积炉；传动组件同轴安装于储料罐内，其传动杆底端从端头处沿轴向依次固定安装有金属细针、金属螺纹塞和旋转叶片，其顶端穿过所述法兰盘的圆通孔与所述步进电机的转子同轴固定，通过所述步进电机带动所述传动组件旋转，所述传动杆与所述法兰盘之间为动密封结构；所述步进电机通过螺纹柱固定于所述法兰盘的上表面；采用动密封结构实现传动杆与法兰盘之间的密封，将法兰盘上方步进电机及螺纹柱隔绝在真空系统外，防止步进电机过热及防止步进电机被粉体腐蚀，且其方便安装、调试及拆卸。