基于伯努利原理的边缘研磨基座、边缘研磨系统及方法

摘要

本发明提供一种基于伯努利原理的边缘研磨基座、边缘研磨系统及方法，所述基于伯努利原理的边缘研磨基座包括：吸盘主体，所述吸盘主体内设有空腔，所述吸盘主体上表面设有若干个与所述空腔相连通的出气口，所述吸盘主体底部设有与所述空腔相连通的供气管路。本发明的基于伯努利原理的边缘研磨基座在对待研磨晶圆进行边缘研磨时，可以实现伯努利效应以吸附固定待研磨晶圆，由于所述基于伯努利原理的边缘研磨基座与所述待研磨晶圆之间有一层气体作为缓冲，所述带研磨晶圆与所述基于伯努利原理的边缘研磨基座不直接接触，可以有效避免对所述待研磨晶圆背面造成损伤。