首页> 中国专利> 光学膜的膜厚监控方法

光学膜的膜厚监控方法

摘要

本揭示提供了光学膜的膜厚监控方法。所述光学膜的膜厚监控方法包括向涂布机台输入工艺参数K,其中K=V/P,K为工艺参数,V为光学膜的涂布速度,P为喷嘴的吐出压力,当K值稳定时,所述涂布机台判定所述光学膜的膜厚均匀,以及当所述K值不稳定时,所述涂布机台判定所述光学膜的膜厚异常。本揭示能够判断所述光学膜的膜厚是否异常及缩短异常发现时间。

著录项

  • 公开/公告号CN110038748B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-09-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;

    申请/专利号CN201910258035.8

  • 发明设计人 黄焕聪;

    申请日2019-04-01

  • 分类号B05B12/08(20060101);G02B1/10(20150101);

  • 代理机构44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙);

  • 代理人黄威

  • 地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

  • 入库时间 2022-08-23 11:13:11

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号