公开/公告号CN110038748B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-08
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201910258035.8
发明设计人 黄焕聪;
申请日2019-04-01
分类号B05B12/08(20060101);G02B1/10(20150101);
代理机构44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙);
代理人黄威
地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
入库时间 2022-08-23 11:13:11
机译: 光学膜厚测定方法,光学膜厚测定系统及光学膜厚测定程序其他
机译: 光学膜厚测定方法,光学膜厚测定系统及光学膜厚测定程序其他
机译: 光学膜厚测定装置及使用该光学膜厚测定装置的光学膜厚测定装置的薄膜形成装置