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用于保持基板的保持布置、包括保持布置的载体、采用载体的处理系统和从保持布置释放基板的方法

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摘要

描述了一种用于保持基板(101)的保持布置(100)。保持布置包括主体(110)、粘合布置(130)和传力布置(140)。主体(110)具有由柔性材料组成的第一壁(120)。粘合布置(130)用于附接基板，其中粘合布置(130)提供在第一壁(120)的第一侧(121)上。传力布置(140)用于将力施加到第一壁(120)的第二侧(122)，第二侧(122)与第一壁(120)的第一侧(121)相对。

著录项

公开/公告号CN108291296B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-11

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201680069177.4
发明设计人西蒙·刘;
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申请日2016-11-10
分类号C23C14/50(20060101);C23C14/56(20060101);C23C16/458(20060101);C23C16/54(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/683(20060101);H01J37/32(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:11:37

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