法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-07-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/30 授权公告日:20080611 申请日:20060511
专利权的终止
2008-06-11
授权
授权
2006-12-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-10-11
公开
公开
机译: 通过电子束物理气相沉积工艺降低导热率的热障涂层
机译: 电子束物理气相沉积工艺降低导热系数的热障涂层
机译: 电子束物理气相沉积工艺降低热导率热障涂层