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带非圆形光阑的微印刷用投影镜头

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摘要

一种用于微印刷的投影镜头包括一设置在该镜头的镜片(S2)的前方一定距离(D)处的光阑(BL)。该光阑具有一孔(28)，该孔具有根据主光线(34)的倾斜度并根据光阑(BL)和镜片(S2)之间的距离(D)以非圆形方式延伸(28’)的边缘轮廓。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-07

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 5/00 授权公告日:20080702 终止日期:20171220 申请日:20021220

专利权的终止
2011-04-13

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G02B5/00 变更前: 变更后: 申请日:20021220

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2011-04-13

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G02B 5/00 变更前: 变更后: 申请日:20021220

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2008-07-02

授权

授权
2008-07-02

授权

授权
2006-01-18

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-01-18

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-11-09

公开

公开
2005-11-09

公开

公开

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1. 带非圆形光阑的微印刷用投影镜头 [P] . 中国专利： CN100399063C . 2008.07.02
2. 微显示投影镜头的实现方法及采用该方法的投影镜头 [P] . 中国专利： CN101303448A . 2008-11-12
3. Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method in which a reflective projection optical system has a non-circular aperture stop [P] . 美国专利： US7312851B2 . 2007-12-25

机译：反射光学投影光学系统具有非圆形孔径光阑的投影光学系统，曝光设备和曝光方法
4. PROJECTION LENS WITH NON- ROUND DIAPHRAGM FOR MICROLITHOGRAPHY [P] . 韩国专利： KR100969056B1 . 2010-07-09

机译：微圆摄影的非圆形透影投影镜头
5. PROJECTION LENS WITH NON- ROUND DIAPHRAGM FOR MICROLITHOGRAPHY [P] . 欧洲知识产权局专利： EP1565769A1 . 2005-08-24

机译：微圆摄影的非圆形透影投影镜头