一种准分子激光退火温度控制系统及方法和退火装置

摘要

本发明公开一种准分子激光退火温度控制系统及方法和退火装置，包括：载物台、在载物台下方等间隔交替设置的加热装置与冷却装置、分别与加热装置和冷却装置连接的PLC控制器，所述载物台下表面设有多个分别对应加热装置和冷却装置位置设置的温度传感器，PLC控制器实时接收温度传感器发送的载物台的温度信号，并根据接收的温度信号与预设温度值比较，分别向加热装置与冷却装置发送控制信号使其工作。本发明通过“棋盘式”分布的温度梯度，固定面积区域与四侧温度差恒定，驱使熔融状态的多晶硅在各个方向同时几乎同速率生长，得到大尺寸多晶硅晶粒，同时颗粒和突起也会随之降低，退火后膜层表面的粗糙程度会减轻，很好的保证TFT开关的电学特性。