法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-14
授权
授权
2019-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01T1/29 申请日:20181225
实质审查的生效
2019-03-19
公开
公开
机译: 一种利用离子束,SPM纳米探针和CD-SPM纳米探针制造SPM纳米探针和临界尺寸SPM纳米探针的方法
机译: 一种利用离子束,SPM纳米探针和CD-SPM纳米探针制造SPM纳米探针和临界尺寸SPM纳米探针的方法
机译: 利用会聚离子束处理装置的探针和探针零会聚离子束的生产方式