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具有周期性应变的范德华异质结型光电探测器及制备方法

摘要

本发明属于材料应用技术领域,具体涉及一种具有周期性应变的范德华异质结型光电探测器及制备方法。上述器件构筑方法如下,在半导体基底上部分沉积绝缘层,在未沉积绝缘层的部分进行图案化处理外延生长半导体纳米线阵列,采用湿法转移技术将二维层状材料转移到上述阵列上,利用水分蒸发过程中的毛细作用诱导二维层状材料在半导体纳米阵列上产生周期性应变,最后通过电子束曝光结合热蒸镀构筑电极,完成器件的构筑。这种具有周期性应变的范德华异质结型光电器件为设计高性能的光电探测器提供了新的思路,具有重大的商业价值和深远的现实意义。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-26

    授权

    授权

  • 2020-06-12

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L31/109 变更前: 变更后: 申请日:20181224

    著录事项变更

  • 2019-06-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/109 申请日:20181224

    实质审查的生效

  • 2019-05-10

    公开

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